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技術(shù)文章

虹潤溫度控制器在單晶爐設備改造中的應用點(diǎn)擊次數:228 更新時(shí)間:2024-04-28

一、摘要

       虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器適用于需要進(jìn)行高精度多段曲線(xiàn)程序升/降溫控制的系統,它可根據生產(chǎn)過(guò)程的要求,按照一定的曲線(xiàn)進(jìn)行控制,最多可分59段曲線(xiàn)對象進(jìn)行編程控制,每一段均采用PID參數設定控制,使控制更為精確可靠,方便靈活的曲線(xiàn)控制功能,可實(shí)時(shí)監控曲線(xiàn)程序段的運行時(shí)間和狀態(tài),多種事件輸入功能。通過(guò)多種曲線(xiàn)控制輸出功能,可實(shí)現曲線(xiàn)控制暫停、曲線(xiàn)控制清零、曲線(xiàn)控制步進(jìn)等功能,并可實(shí)現手/自動(dòng)無(wú)擾動(dòng)切換。

二、產(chǎn)品的市場(chǎng)背景

       單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長(cháng)無(wú)錯位單晶的設備。單晶爐需要控制的內容包含晶體的直徑、溫度(功率)、原料(硅料)、泄漏率和氬氣質(zhì)量等,其中溫度控制好壞直接影響到是否成為晶體的關(guān)鍵因素。虹潤自主開(kāi)發(fā)的虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶爐的溫度控制中發(fā)揮著(zhù)重要的作用。

三、產(chǎn)品的主要技術(shù)原理

       1、軟件采用人工智能控制算法,通過(guò)上電自動(dòng)跟蹤測量值變化,根據時(shí)間和所設定控制值的函數關(guān)系分段實(shí)現溫度的升溫、保溫和降溫的溫度調節

       2、根據編程的生產(chǎn)工藝曲線(xiàn),可實(shí)現曲線(xiàn)的步進(jìn)、跳轉、停止、清零等功能

       3、產(chǎn)品在整個(gè)單晶路溫度調節中主要負責溫度的精準控制。

四、產(chǎn)品的應用

       虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶路溫度控制原理圖見(jiàn)下圖:

1565251270128127.gif

       電路說(shuō)明:交流電源經(jīng)變壓器降壓后使用,輸出電壓25V,輸出電流28A、MJYD-JL-75為晶閘管智能模塊,內含晶閘管和移相控制電路,輸出最大電壓450V,最大電流75A,L1為過(guò)流保護熔斷器,RSV為過(guò)壓保護阻容元件。RW為電爐絲。

       NHR-5400輸出為0-10MA電流,經(jīng)過(guò)1K電阻后,輸出變?yōu)?-10V直流電壓,滿(mǎn)足晶閘管模塊的輸入電壓要求。

       主要控制設備:虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器

2.gif

       輔助設備:熱電偶、可控硅、固態(tài)繼電器、過(guò)壓保護阻容器件等

       根據單晶爐溫度控制的特點(diǎn),虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器設定工藝曲線(xiàn)如下:

攝氏度
分鐘

SV01=25.0

SV02=255.0

SV03=255.0

SV04=455.0

SV05=455.0

SV06=825.0

SV07=825.0

SV08=825.0

SV09=825.0

SV10=825.0

SV11=825.0

SV12=355.0

SV13=25.0

從室溫25.0℃開(kāi)始升溫

升到255.0℃

保溫在255℃

升到455.0℃

保溫在455.0℃

上升到825.0℃

保溫在825.0℃

保溫在825.0℃

保溫在825.0℃

保溫在825.0℃

保溫在825.0℃

下降到355.0℃

下降到25.0℃

TI01=60

TI01=120

TI03=120

TI04=90

TI05=300

TI06=8640

TI07=8640

TI08=8640

TI09=8640

TI10=4320

TI01=360

TI12=600

TI13=-121

經(jīng)過(guò)60分鐘

經(jīng)過(guò)120分鐘

經(jīng)過(guò)120分鐘

經(jīng)過(guò)90分鐘

經(jīng)過(guò)300分鐘

經(jīng)過(guò)8640分鐘

經(jīng)過(guò)8640分鐘

經(jīng)過(guò)8640分鐘

經(jīng)過(guò)8640分鐘

經(jīng)過(guò)4320分鐘

經(jīng)過(guò)360分鐘

經(jīng)過(guò)600分鐘

停止

按照上述的設定參數試驗控制效果,控制精度可達±0.5°C

產(chǎn)品圖片:

3.gif

五、結束語(yǔ)

       采用虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器作為主核心控制系統以來(lái),碲鎘汞單晶爐的控制運行狀況良好,至今仍出現,可以替代進(jìn)口的控制儀表。無(wú)論從運行實(shí)際狀況來(lái)看,還是從性?xún)r(jià)比來(lái)看,選擇NHR-5400確實(shí)能夠要求。



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